Содержание курса

Программа повышения квалификации «Технохимические процессы для производства изделий микроэлектроники, микросистемной техники» направлена на развитие компетенций в области разработки и применения технологических процессов жидкостного химического травления и химической обработки кремниевых пластин для реализации технологий производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники. Программа ориентирована на сотрудников, инженеров и специалистов, связанных с технологическими процессами микроэлектроники.

Основные знания, получаемые в рамках программы:

Существующие подходы к реализации жидкостных и сухих методов химической обработки, а также травления кремниевых пластин.

Формулирование требований к составу оборудования для реализации базовых технохимических процессов при разработке и производстве микроэлектронных и микроэлектромеханических изделий.

Оценка результатов жидкостных и сухих методов химической обработки и травления кремниевых пластин.

Модули программы:

Модуль 1: Основы технохимических процессов (22 часа)

Краткое содержание: Представление об основных сухих и жидкостных технохимических процессах.

Лекции и практические занятия: Определение скорости травления оксида кремния.

Модуль 2: Технохимические процессы в микроэлектронике (24 часа)

Краткое содержание: Изучение видов и форм загрязнений на поверхности кремниевых пластин, а также используемых методов индивидуальной и групповой химической обработки кремниевых пластин для очистки.

Лекции и практические занятия: Выбор технологических сред, последовательности операций, способов обработки для организации групповых и индивидуальных технохимических процессов.

Модуль 3: Способы реализации технохимических процессов. Метрологический контроль процессов (24 часа)

Краткое содержание: Изучение сухих, жидкостных процессов очистки и травления, а также реализация метрологического контроля.

Лекции и практические занятия: Выбор методов исследования для измерения загрязнений поверхности и изучения профиля кремниевых пластин.

Итоговая аттестация (2 часа)

Краткое содержание: Зачет по результатам изучения всех модулей.

Выдаваемый документ

Удостоверение о повышении квалификации

Форма обучения

• С применением дистанционных технологий

Объем программы

72 академических часа, с возможностью очного и дистанционного обучения с применением электронных модулей.

Режим занятий

Программа включает электронные учебные модули и может быть изучена как в очной, так и дистанционной форме, с использованием интерактивного комплекса «Микроэлектронные технологии МЭМС».