24 сентября 2019 года размещена на сайте НИУ МИЭТ и находится на рассмотрении диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук Федотова Сергея Дмитриевича
| Диссертация | |
|---|---|
| Шифр совета | Д 212.134.03 |
| Дата размещения объявления | 24.09.2019 |
| Соискатель | Федотов Сергей Дмитриевич |
| Название диссертации | Разработка и исследование технологических режимов газофазной гетероэпитаксии тонких слоев кремния на сапфире с улучшенными характеристиками |
| Шифр | 05.27.06 |
| Специальность | Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
| Отрасль науки | Технические науки |
| Текст диссертации | Загрузить |
| Ведущая организация | |
| Оппоненты | |
| Результаты защиты | |