Подразделение | Должность |
Институт перспективных материалов и технологий | профессор |
Краткая биография
Академик Национальной академии наук Беларуси (1986; чл.-корр. с 1980), доктор технических наук (1975), профессор (1977).
Заслуженный изобретатель БССР (1978).
Окончил Белорусский политехнический институт (1961). С 1966 г. в Минском радиотехническом институте, с 1975 г. заведующий кафедрой, одновременно в 1987-1989 гг. академик-секретарь Отделения физики, математики и информатики АН БССР, в 1987-1992 гг. член Президиума АН БССР.
В 1989-1991 гг. – член Верховного Совета СССР.
В 1990-1994 гг. – член Коллегии МИД Республики Беларусь.
В 1994-2001 гг. – Чрезвычайный и Полномочный Посол Республики Беларусь в Бельгии, Нидерландах, Люксембурге; Постоянный представитель в Европейском Союзе и НАТО.
В 2002-2009 гг. – член Президиума Национальной академии наук Беларуси.
В настоящее время главный научный сотрудник Белорусского государственного университета информатики и радиоэлектроники.
Научная деятельность
Исследовал физико-химические процессы, связанные с взаимодействием электролитов, низкотемпературной плазмы, ионных пучков и оптического излучения с поверхностью твердого тела; построил физические модели базовых технологических, электрохимических, ионных и фотонных процессов создания полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем и на их основе разработал систему сквозного автоматизированного проектирования.
Разработал высокоэффективные базовые электрохимические процессы производства элементов полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем; ионно-плазменные, ионно-лучевые, импульсные ламповые, лазерные фотохимические технологические процессы индивидуальной обработки полупроводниковых пластин, а также оборудование с микропроцессорным управлением для осуществления этих процессов.
Государственная премия Республики Беларусь 1992 г. за создание и промышленную реализацию высокоэффективной системной технологии массового производства сверхбольших интегральных схем.
Первая премия Президиума АН СССР 1978 г. за лучшие фундаментальные разработки в области микроэлектроники.
Автор более 200 научных работ, в т.ч. монографии и 14 брошюр, 460 изобретений.
Награжден орденами Октябрьской Революции (1986) и Трудового Красного Знамени (1981), медалью.