Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  

Моделирование наноразмерных интегральных структур и технологических процессов в программной среде TCAD

Авторы:А.Г. Балашов
А.Ю. Красюков
Т.Ю. Крупкина

Описание курса

Обучение по маршруту "Моделирование наноразмерных интегральных структур и технологических процессов в программной среде TCAD" имеет своей целью формирование компетенций в области математического моделирования технологических процессов наноэлектроники и наноразмерных интегральных структур, позволяющих глубже понимать сущность процессов, используемых в производстве изделий интегральной наноэлектроники, проектировать эти изделия на основе современных методов и с использованием современных компьютерных технологий. В результате освоения курса слушатель должен: Знать - основные физические явления и математическое описание процессов формирования элементов интегральных схем; - принципы численного моделирования технологических процессов и математических моделей основных технологических операций интегральной электроники и наноэлектроники; Уметь и демонстрировать способность и готовность: - численного моделирования процессов формирования основных интегральных элементов и наноструктур, технологических маршрутов и отдельных технологических операций.