Бойко Антон Николаевич кандидат технических наук, доцент

Краткая биография

2001 г., Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова, магистр техники и технологии по направлению «Электроника и микроэлектроника», тема диссертации: «Влияние облучения низкоэнергетическими ионами на состав поверхности монокристаллов Pb-In»

2006 г., Национальный исследовательский университет «МИЭТ», к.т.н. по специальности 05.27.06 – Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, тема диссертации: «Конструктивно-технологические особенности изготовления микроэлектромеханических устройств торсионного типа»

Достижения:

  • 2018, победа в конкурсе «Золотые Имена Высшей Школы - 2018»

  • 2012/2013 г., грант на поддержку научных исследований в рамках федеральной целевой программы «Научные и научно-педагогические кадры инновационной России» на 2009-2013 годы

  • 2010/2011 гг., грант на проведение совместных научных исследований с Институтом электронных наносистем Fraunhofer ENAS (Германия) при поддержке российско-германской программы «Михаил Ломоносов-II»

  • 2008 г., грант Президента Российской Федерации для поддержки молодых российских ученых – кандидатов наук

Повышение квалификации:

2021

  • Тренинг «Техника речи. Online», Тренинговая компания Artspeak
  • «Основы работы в электронной информационно-образовательной среде вуза», Москва, МИЭТ

2020

  • «Сенсоры для биомедицинских систем», Москва, МИЭТ
  • Онлайн-курс «Nanotechnology: A Maker's Course», Duke University, Coursera

2018

  • Онлайн-курс «Инновационная экономика и технологическое предпринимательство», Университет ИТМО, Санкт-Петербург
  • «Школа наставников: университет», Сколково

2017

  • «Технологические брокеры: драйвер развития национальной инновационной экосистемы», Санкт-Петербург, Университет ИТМО
  • «Использование электронного обучения и современных средств ИКТ в учебном процессе вуза», Москва, МИЭТ

2016

  • «Теория и практика деятельности отраслевых центров научно-технологического прогнозирования», НИУ ВШЭ, Москва

2008

  • Школа-студия научной журналистики, Москва, журнал «Химия и жизнь»

Читаемые курсы

  • Микро- и нанотехнологии производства электронных средств

  • Основы технологии микроэлектроники

  • Конструкторское проектирование и технология производства БИС и СБИС


Научная деятельность

Автор и соавтор более 60-ти научных публикаций, в том числе 2-х учебно-методических пособий и 6-ти патентов. Основные научные публикации:

  1. S. Sh. Rekhviashvili, D. S. Gaev, and A. N. Boyko, Physical and Topological Modeling of a Volume Condenser Structure with a Schottky Barrier, Russian Microelectronics, 2021, Vol. 50, No. 5, pp. 347–352. https://doi.org/10.1134/S1063739721040090

  2. Rekhviashvili, S., Boyko, A. Investigation of Factors Affecting the Radiation Intensity of Quantum Wells. J Russ Laser Res 42, 20–24 (2021). https://doi.org/10.1007/s10946-020-09925-2

  3. Бойко А.Н., Боев Л.Р., Тимошенков С.П., Брыкин А.В., «Исследование процесса активации газопоглощающих пленок Ti-V», Наноиндустрия (S89), 2019. С. 546-548 DOI: 10.22184/NanoRus.2019.12.89.546.548

  4. S. P. Timoshenkov, A. N. Boyko, D. S. Gaev, R. M. Kalmykov, An Integrated High-Capacitance Varicap Based on Porous Silicon, Russian Microelectronics, Vol. 47, Iss. 7, 2018. pp. 465-467, https://doi.org/10.1134/S1063739718070156

  5. M. Burakov, D. Vertyanov, A. Boyko, A. Sosnovsky, “Investigation of TSV metallization for MEMS packaging technology”, Proc. of 2018 IEEE Conf. of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), Moscow, 2018, pp. 1599-1603. doi: 10.1109/EIConRus.2018.8317406

  6. A. Boyko, O. Pyatilova, R. Kalmykov, D. Gaev, S. Timoshenkov and S. Gavrilov, "Study of morphological characteristic of por-Si formed using metal-assisted chemical etching by BET-method and fractal geometry", Proc. SPIE 10224, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2016, 102240H (December 30, 2016); doi:10.1117/12.2267147

  7. “Application of Fractal Analysis for Estimation of Morphological and Physical Properties of Nanostructured Materials”, Proc. XII International Conf. on Nanostructured Materials (NANO 2014), Moscow, 2014, pp02.005.

  8. A. Boyko, A. Shalimov, S. Timoshenkov, P. Kovyrkin, "Development of driving setup for micromechanical friction vacuum gauge," Proc. SPIE 9440, Int. Conf. on Micro- and Nano-Electronics 2014, 94400U (December 18, 2014); doi:10.1117/12.2180876

  9. A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, Y. Chaplygin and V. Petrov, "The Study of Different Structuring Techniques for Creation of Non-Evaporable Getters," Materials Sciences and Applications, Vol. 4 No. 8A, 2013, pp. 57-61. doi: 10.4236/msa.2013.48A007

  10. S. Timoshenkov, D. Gaev, A. Boyko, “The Use of Porous Silicon for Nanostructuring of Functional Metal Layers for MEMS”, Applied Mechanics and Materials, Vols. 313-314, 2013, pp. 108-111; doi: 10.4028/www.scientific.net/AMM.313-314.108

  11. A. Boyko, D. Gaev, S. Timoshenkov, D. Litmanovich, “Controllable Growth of Copper Fractal Aggregates on Structurally Modified Silicon Surface”, Proc. XXXII Int. Scientific Conf. ELNANO'2013, Kyiv, 2013. pp. 185-187. doi: 10.1109/ELNANO.2013.6551999

  12. S. P. Timoshenkov, A. N. Boiko, B. M. Simonov, “Parameter estimation technique for sensitive elements of microaccelerometers and micromirrors”, Semiconductors, Volume 42, Number 13, 2008. pp. 1564-1568.

Патенты:

  • Пат. 2614663 Российская Федерация, Варикап и способ его изготовления/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2015156481; заявл. 29.12.2015; опубл. 28.03.2017, Бюл. №10. – 10 с.
  • Пат. 2538420 Российская Федерация, Устройство контроля герметичности микроструктур/ А.Н. Бойко, Д.С. Гаев, С.П. Тимошенков. – №2012140768/28; заявл. 25.09.2012; опубл. 27.03.2014, Бюл. №9. – 7 с.
  • Пат. 2523718 Российская Федерация, Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2012149068/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.07.2014, Бюл. №20. – 8 с.
  • Пат. на полезную модель 128394 Российская Федерация, Газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – 2012149070/07; заявл. 20.11.2012; опубл. 20.05.2013, Бюл. №14.
  • Пат. 2474912 Российская Федерация, Способ получения газопоглощающей структуры/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2011135024/07; заявл. 23.08.2011; опубл. 10.02.2013, Бюл. №4. – 9 с.
  • Пат. 2439739 Российская Федерация, Нанокомпозитная газопоглощающая структура/ С.П. Тимошенков, Д.С. Гаев, А.Н. Бойко. – №2010148881/07; заявл. 01.12.2010; опубл. 10.01.2012, Бюл. №1. – 6 с.