МИЭТ

Национальный
исследовательский
университет

Орден трудового красного знамени
Рейтинг QS

National Research University of
Electronic Technology

Версия для слабовидящих Версия для печати Поиск по сайту На гланую страницу сайта
Авторизация

Тимошенков Сергей Петрович

доктор технических наук, профессор
Тимошенков Сергей Петрович
Телефон: (499) 720-87-68, 29-68
E-mail: spt@miee.ru
Аудитория: 4110

ПодразделениеДолжность
Кафедра микроэлектроникизаведующий кафедрой
Учебно-научный центр «Mentor Graphics» «Проектирование систем на печатных платах»руководитель
Научно-образовательный центр «Микросистемная техника»руководитель

Краткая биография

Родился в 1957 году.

В 1981 г. закончил МИЭТ.

С 1984 г. работает в МИЭТе.

В 1994 г. — кандидат технических наук.

В 2004 г. — доктор технических наук.

С 2005 г. — заведующий кафедрой микроэлектроники.

С 2007 г. — профессор.

В 2007 г. — Лауреат Премии Правительства РФ.


Читаемые курсы

  • Микроэлектромеханические системы,
  • Физико-химические основы структур кремний на изоляторе,
  • Детали электронной аппаратуры
  • Технология деталей и узлов ЭВС
  • Компоненты микросистемной техники
  • Сенсоры


Научная деятельность

Направления исследований и разработок:

  • Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов микро- и наноэлектроники, микросистемной техники.
  • Разработка конструкций и технологий изготовления малогабаритных преобразователей линейного ускорения (микроакселерометров), угловой скорости (микрогироскопов), инклинометров, микроповоротных зеркал, систем позиционирования и элементов навигационных блоков, блоков инерциальной информации на основе кремниевых чувствительных элементов.
  • Изучение физико-химических процессов химического, плазмохимического травления микроэлектронных материалов, процессов сращивания и формирования многослойных, сложнопрофильных структур для микроэлектроники и микросистемной техники.
  • Исследование и разработка базовых и технологических процессов изготовления структур КНИ и чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин.
  • Разработка технологии изготовления и сборки ЧЭ МЭМС.

Участие в организациях

  • Член диссертационного совета Д212.134.01, Д212.134.03 (МИЭТ).
  • Член редакционной коллегии журналов «Российские нанотехнологии», «Микро- и наносистемная техника», «Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России».

За последние 5 лет:

  • Подготовил 1 доктора и 7 кандидатов наук.
  • Руководитель и главный конструктор 18 НИР и 4 ОКР.
  • 180 печатных работ, из них 4 учебных пособия, 10 патентов и заявок.

Список наиболее значимых опубликованных работ:

Учебные пособия

  1. Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Технологии и методы исследования структур КНИ. Монография. – М.: МИЭТ. 2003.
  2. Тимошенков С.П., Новиков С.Н. Вода на оксидных поверхностях и ее роль в процессах связывания кремниевых пластин. – М.: МИЭТ, 2004.
  3. Анчутин С.А., Плеханов В.Е., Тимошенков С.П. Введение в конечно-элементный анализ. Использование ANSYS в задачах математической физики. – М.: МИЭТ, 2007.
  4. Н.П.Захаров, С.П.Тимошенков, Ю.А.Крупнов. Оптико-электронные узлы электронно-вычислительных средств, измерительных приборов и устройств автоматики. – М.: БИНОМ, 2009.
  5. Проектирование систем на печатных платах на САПР Mentor Graphics. В 5-ти частях. Уч. пособие под редакцией Тимошенкова С.П. – М.: МИЭТ, 2008-2009.
  6. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Морозова Е.С. Микроэлектромеханические системы.– М.: МИЭТ, 2009.

Публикации

  1. Новиков С.Н. Тимошенков С.П. Использование метода статистического ионизированного конденсатора для измерения работы выхода электрона. Известия вузов. Электроника. 2002. № 5. С. 81 - 88.
  2. Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П. Возможность исследования эволюции свойств структур кремний на изоляторе синергетическими методами. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2002. № 3. С. 34 - 41.
  3. Тимошенков С.П., Калугин В.В. Прокопьев Е.П. Разработка методов химической обработки Si пластин, предназначенных для получения структур КНИ. I. Химические взаимодействия на поверхности при жидкостных обработках пластин кремния. Материаловедение. 2002. № 8. С. 10 - 16.
  4. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Графутин В.И., Прокопьев Е.П. Анализ процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2002. № 3. С. 28 - 34.
  5. Новиков С.Н. Тимошенков С.П. Изменение потенциала поверхности кремниевых пластин при термодесорбции воды. Известия вузов. Электроника. 2003. № 3. С. 36 - 43.
  6. Тимошенков С.П., Калугин В.В, Прокопьев Е.П. Исследование технологии очистки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микросистемная техника. - 2003. - № 1. - С. 13 - 22.
  7. Минаев В.С., Петрова В.З., Тимошенков С.П., Кафизов Р.Р., Шарагов В.А. Стеклообразование и стеклообразующая способность сплавов в бинарных системах AIIO–B2O3 (AIIO = BeO, MgO, CaO, SrO, BaO, ZnO, CdO). Физика и химия стекла. 2004. Т.30. №3. С.290-304.
  8. Minaev V.S., Timoshenkov S.P.Glass-formation in chalcogenide systems and periodic system // In: Semiconducting Chalcogenide Glass I. Glass Formation, Structure, and Stimulated Transformation in Chalcogenide Glasses. - Semi-conductor and Semimetals. V. 78. Eds. Robert Fairman, Boris Ushkov. 2004. Elsevier – Academic Press. Amsterdam-Boston- London. P. 1-50.
  9. E.P. Prokop’ev, S.P.Timoshenkov, V.V.Dyagilev, V.V.Kalugin. Possible noneequilibrium phase transitions in an atmosphere of own silicon imperfections. International Conference «Micro- and nanoelectronics – 2005». 2005. IC MNE. IC Micro- and nanoelectronics. Book of Abstracts. October 3th-7th, 2005.Moscow, Zvenigorod, Russia. P.03-07.
  10. Тимошенков С.П. Калугин В.В. Прокопье Е.П. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: Физико-химические основы сухих методов обработки. Петербургский журнал электроники. 2005. №2. С.15-19.
  11. Прокопьев Е.П.,.Тимошенков С.П, Калугин В.В. Геттерирование примесей металлов в структурах кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2005. №4. С.89-91.
  12. Прокопьев Е.П.,.Тимошенков С.П., Калугин В.В. Определение по динамическим вольт-фарадным характеристикам электрофизических свойств и однородности толщин структур кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2005. №2. С.45-49.
  13. Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П. Получение мелкодисперсных порошков в высокочастотной плазме. Технология металлов. 2005. №9. С.16-24.
  14. Тимошенков С.П. Прокопьев Е.П… Модель геттерирования примесей металлов в структурах кремний на изоляторе. Материаловедение. 2006. №3. С.2-7.
  15. Тимошенков С.П. Калугин В.В. Прокопьев Е.П. Применение ELTRAN процесса для получения тонких монокристаллических слоев кремния. «высокие технологии, фундаментальные и прикладные исследования, образование». том 6. сборник трудов второй международной научно-технической конференции «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности» 07-09.2006, Санкт-Петербург, Россия. Под ред. А.П.Кудинова, Г.Г.Матвиенко, В.Ф.Самохина. Санкт-Петербург: Изд-во Политехнического ун-та, 2006. С.125,126.
  16. Minaev V.S., Terashkevich I.M., Timoshenkov S.P., Kalugin V.V., Novikov S.N. Polymeric-nanoheteromorphous structure of noncrystalline carbon. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Vol. 9, No. 10, October 2007. P. 3253-3264.
  17. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Балычев В.Н., Морозова Е.С. Разработка микропривода для управления микрозеркала. «Нано- и микросистемная техника». 2007. №5. С.66-70.
  18. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа на равномерно вращающемся основании. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 58-61.
  19. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 92-95.
  20. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров А.А. Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления. Известия вузов. Электроника. 2007. №4. С. 44-50.
  21. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В.,. Рубчиц В.Г,. Захаров А.А.Разработка микромеханического реле с электростатическим принципом управления. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2007. №1. С.16-20.
  22. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 92-95.
  23. Тимошенков С.П., Рубчиц В.Г., Зотов С.А, Калугин В.В., Прокопьев Е.П. Влияние уровня развития технологических процессов на геометрические параметры изготавливаемых элементов МЭМС. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2007. №2. С.60-63.
  24. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа на равномерно вращающемся основании. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 58-61.
  25. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России. 2007. №3. С. 92-95.
  26. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров А.А. Микромеханическое реле с электростатическим принципом управления. Сборник научных трудов МИЭТ «Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства» – М.:МИЭТ. 2007. С.3-15.
  27. Зотов С.А., Тимошенков С.П., Балычев В.Н., Морозова Е.С. Передаточные функции чувствительного элемента микромеханического вибрационного гироскопа RR-типа. Приборы. 2007. №3. с.35-37
  28. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров. А.А. Разработка микромеханического реле с электростатическим принципом управления. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2007. №1. С.16-20.
  29. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Расчет параметров чувствительного элемента микромеханического гироскопа вибрационного типа с заданным диапазоном измеряемых скоростей. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 54-57.
  30. Тимошенков С.П.; Зотов С.А.; Калугин В.В.; Рубчиц В.Г.; Захаров А.А. Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления. Известия высших учебных заведений. Электроника. 2007. №4, С.44-50.
  31. Тимошенков С.П., Захаров Н.П., Бойко А.Н., Бритков О.М., Баранов М.С. Схема возбуждения и стабилизации колебаний рамки микроэлектромеханического вибрационного датчика угловой скорости. Сборник научных трудов МИЭТ «Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства» под редакцией С.П.Тимошенкова – М.:МИЭТ. 2007. С. 32-36.
  32. Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М. Чувствительные элементы МЭМС: технология определяет параметры. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. М., 2008. №1. С. 66-69.