Старая версия сайта доступна по ссылке http://old.miet.ru Перейти
  
  
  
  
Тимошенков Сергей Петрович доктор технических наук, профессор

Краткая биография

Родился в 1957 году.

В 1981 г. закончил МИЭТ.

С 1984 г. работает в МИЭТе.

В 1994 г. — кандидат технических наук.

В 2004 г. — доктор технических наук.

С 2005 г. — заведующий кафедрой микроэлектроники.

С 2007 г. — профессор.

В 2007 г. — Лауреат Премии Правительства РФ.

Читаемые курсы

  • Микроэлектромеханические системы,
  • Физико-химические основы структур кремний на изоляторе,
  • Детали электронной аппаратуры
  • Технология деталей и узлов ЭВС
  • Компоненты микросистемной техники
  • Сенсоры

Научная деятельность

Направления исследований и разработок:

  • Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов микро- и наноэлектроники, микросистемной техники.
  • Разработка конструкций и технологий изготовления малогабаритных преобразователей линейного ускорения (микроакселерометров), угловой скорости (микрогироскопов), инклинометров, микроповоротных зеркал, систем позиционирования и элементов навигационных блоков, блоков инерциальной информации на основе кремниевых чувствительных элементов.
  • Изучение физико-химических процессов химического, плазмохимического травления микроэлектронных материалов, процессов сращивания и формирования многослойных, сложнопрофильных структур для микроэлектроники и микросистемной техники.
  • Исследование и разработка базовых и технологических процессов изготовления структур КНИ и чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин.
  • Разработка технологии изготовления и сборки ЧЭ МЭМС.

Участие в организациях

  • Член диссертационного совета Д212.134.01, Д212.134.03 (МИЭТ).
  • Член редакционной коллегии журналов «Российские нанотехнологии», «Микро- и наносистемная техника», «Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России».

За последние 5 лет:

  • Подготовил 1 доктора и 7 кандидатов наук.
  • Руководитель и главный конструктор 18 НИР и 4 ОКР.
  • 180 печатных работ, из них 4 учебных пособия, 10 патентов и заявок.

Список наиболее значимых опубликованных работ:

Учебные пособия

  1. Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Технологии и методы исследования структур КНИ. Монография. – М.: МИЭТ. 2003.
  2. Тимошенков С.П., Новиков С.Н. Вода на оксидных поверхностях и ее роль в процессах связывания кремниевых пластин. – М.: МИЭТ, 2004.
  3. Анчутин С.А., Плеханов В.Е., Тимошенков С.П. Введение в конечно-элементный анализ. Использование ANSYS в задачах математической физики. – М.: МИЭТ, 2007.
  4. Н.П.Захаров, С.П.Тимошенков, Ю.А.Крупнов. Оптико-электронные узлы электронно-вычислительных средств, измерительных приборов и устройств автоматики. – М.: БИНОМ, 2009.
  5. Проектирование систем на печатных платах на САПР Mentor Graphics. В 5-ти частях. Уч. пособие под редакцией Тимошенкова С.П. – М.: МИЭТ, 2008-2009.
  6. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Морозова Е.С. Микроэлектромеханические системы.– М.: МИЭТ, 2009.

Публикации

  1. Новиков С.Н. Тимошенков С.П. Использование метода статистического ионизированного конденсатора для измерения работы выхода электрона. Известия вузов. Электроника. 2002. № 5. С. 81 - 88.
  2. Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П. Возможность исследования эволюции свойств структур кремний на изоляторе синергетическими методами. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2002. № 3. С. 34 - 41.
  3. Тимошенков С.П., Калугин В.В. Прокопьев Е.П. Разработка методов химической обработки Si пластин, предназначенных для получения структур КНИ. I. Химические взаимодействия на поверхности при жидкостных обработках пластин кремния. Материаловедение. 2002. № 8. С. 10 - 16.
  4. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Графутин В.И., Прокопьев Е.П. Анализ процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2002. № 3. С. 28 - 34.
  5. Новиков С.Н. Тимошенков С.П. Изменение потенциала поверхности кремниевых пластин при термодесорбции воды. Известия вузов. Электроника. 2003. № 3. С. 36 - 43.
  6. Тимошенков С.П., Калугин В.В, Прокопьев Е.П. Исследование технологии очистки поверхности пластин кремния в процессе изготовления структур КНИ и микроэлектронных изделий. Микросистемная техника. - 2003. - № 1. - С. 13 - 22.
  7. Минаев В.С., Петрова В.З., Тимошенков С.П., Кафизов Р.Р., Шарагов В.А. Стеклообразование и стеклообразующая способность сплавов в бинарных системах AIIO–B2O3 (AIIO = BeO, MgO, CaO, SrO, BaO, ZnO, CdO). Физика и химия стекла. 2004. Т.30. №3. С.290-304.
  8. Minaev V.S., Timoshenkov S.P.Glass-formation in chalcogenide systems and periodic system // In: Semiconducting Chalcogenide Glass I. Glass Formation, Structure, and Stimulated Transformation in Chalcogenide Glasses. - Semi-conductor and Semimetals. V. 78. Eds. Robert Fairman, Boris Ushkov. 2004. Elsevier – Academic Press. Amsterdam-Boston- London. P. 1-50.
  9. E.P. Prokop'ev, S.P.Timoshenkov, V.V.Dyagilev, V.V.Kalugin. Possible noneequilibrium phase transitions in an atmosphere of own silicon imperfections. International Conference «Micro- and nanoelectronics – 2005». 2005. IC MNE. IC Micro- and nanoelectronics. Book of Abstracts. October 3th-7th, 2005.Moscow, Zvenigorod, Russia. P.03-07.
  10. Тимошенков С.П. Калугин В.В. Прокопье Е.П. Подготовка кремниевых пластин для структур КНИ: Физико-химические основы сухих методов обработки. Петербургский журнал электроники. 2005. №2. С.15-19.
  11. Прокопьев Е.П.,.Тимошенков С.П, Калугин В.В. Геттерирование примесей металлов в структурах кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2005. №4. С.89-91.
  12. Прокопьев Е.П.,.Тимошенков С.П., Калугин В.В. Определение по динамическим вольт-фарадным характеристикам электрофизических свойств и однородности толщин структур кремний на изоляторе. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2005. №2. С.45-49.
  13. Тимошенков С.П., Прокопьев Е.П. Получение мелкодисперсных порошков в высокочастотной плазме. Технология металлов. 2005. №9. С.16-24.
  14. Тимошенков С.П. Прокопьев Е.П... Модель геттерирования примесей металлов в структурах кремний на изоляторе. Материаловедение. 2006. №3. С.2-7.
  15. Тимошенков С.П. Калугин В.В. Прокопьев Е.П. Применение ELTRAN процесса для получения тонких монокристаллических слоев кремния. «высокие технологии, фундаментальные и прикладные исследования, образование». том 6. сборник трудов второй международной научно-технической конференции «Исследование, разработка и применение высоких технологий в промышленности» 07-09.2006, Санкт-Петербург, Россия. Под ред. А.П.Кудинова, Г.Г.Матвиенко, В.Ф.Самохина. Санкт-Петербург: Изд-во Политехнического ун-та, 2006. С.125,126.
  16. Minaev V.S., Terashkevich I.M., Timoshenkov S.P., Kalugin V.V., Novikov S.N. Polymeric-nanoheteromorphous structure of noncrystalline carbon. Journal of Optoelectronics and Advanced Materials. Vol. 9, No. 10, October 2007. P. 3253-3264.
  17. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Балычев В.Н., Морозова Е.С. Разработка микропривода для управления микрозеркала. «Нано- и микросистемная техника». 2007. №5. С.66-70.
  18. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа на равномерно вращающемся основании. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 58-61.
  19. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 92-95.
  20. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров А.А. Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления. Известия вузов. Электроника. 2007. №4. С. 44-50.
  21. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В.,. Рубчиц В.Г,. Захаров А.А.Разработка микромеханического реле с электростатическим принципом управления. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2007. №1. С.16-20.
  22. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 92-95.
  23. Тимошенков С.П., Рубчиц В.Г., Зотов С.А, Калугин В.В., Прокопьев Е.П. Влияние уровня развития технологических процессов на геометрические параметры изготавливаемых элементов МЭМС. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. 2007. №2. С.60-63.
  24. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Динамика чувствительного элемента микромеханического гироскопа на равномерно вращающемся основании. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 58-61.
  25. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Изготовление роторного узла микродвигателя. Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России. 2007. №3. С. 92-95.
  26. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров А.А. Микромеханическое реле с электростатическим принципом управления. Сборник научных трудов МИЭТ «Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства» – М.:МИЭТ. 2007. С.3-15.
  27. Зотов С.А., Тимошенков С.П., Балычев В.Н., Морозова Е.С. Передаточные функции чувствительного элемента микромеханического вибрационного гироскопа RR-типа. Приборы. 2007. №3. с.35-37
  28. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Захаров. А.А. Разработка микромеханического реле с электростатическим принципом управления. Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России. 2007. №1. С.16-20.
  29. Тимошенков С.П., Зотов С.А., Калугин В.В. Расчет параметров чувствительного элемента микромеханического гироскопа вибрационного типа с заданным диапазоном измеряемых скоростей. «Оборонный комплекс - научно-техническому прогрессу России». 2007. №3. С. 54-57.
  30. Тимошенков С.П.; Зотов С.А.; Калугин В.В.; Рубчиц В.Г.; Захаров А.А. Реле на основе МЭМС с электростатическим принципом управления. Известия высших учебных заведений. Электроника. 2007. №4, С.44-50.
  31. Тимошенков С.П., Захаров Н.П., Бойко А.Н., Бритков О.М., Баранов М.С. Схема возбуждения и стабилизации колебаний рамки микроэлектромеханического вибрационного датчика угловой скорости. Сборник научных трудов МИЭТ «Элементы микросистемной техники, оборудование и технология их производства» под редакцией С.П.Тимошенкова – М.:МИЭТ. 2007. С. 32-36.
  32. Тимошенков С.П., Бойко А.Н., Симонов Б.М. Чувствительные элементы МЭМС: технология определяет параметры. Электроника: Наука, Технология, Бизнес. М., 2008. №1. С. 66-69.