+7 (495) 198-00-00 Горячая линия ситуационного центра Минобрнауки
по вопросам поддержки образовательных организаций высшего образования, а также их сотрудников и обучающихся, по вопросам профилактики распространения COVID-19 перейти на сайт МОН
Тимошенков Сергей Петрович доктор технических наук, профессор

Краткая биография

Родился в 1957 году

Свою трудовую деятельность начал в 1974 г. Окончил МИЭТ в 1981 г., по распределению работал в НИИМЭ, а затем был призван в армию. В МИЭТ работает с 1984 г. За годы работы в МИЭТ он защитил кандидатскую и докторскую диссертации.

В 1994 г. — кандидат технических наук

В 2004 г. — доктор технических наук

Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук: «Технология формирования структур «кремний на изоляторе»

С 2005 г. — заведующий кафедрой микроэлектроники

С 2007 г. — профессор

В 2007 г. — Лауреат Премии Правительства РФ в области науки

С 2017 г. — директор Института НМСТ.

Читаемые курсы

  • Физико-химические основы структур кремний на изоляторе
  • Сенсоры
  • Компоненты РЭА

Научная деятельность

Направления исследований и разработок:

Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов микро- и наноэлектроники, микросистемной техники.
Разработка конструкций и технологий изготовления малогабаритных преобразователей линейного ускорения (микроакселерометров), угловой скорости (микрогироскопов), инклинометров, микроповоротных зеркал, систем позиционирования и элементов навигационных блоков, блоков инерциальной информации на основе кремниевых чувствительных элементов. Изучение физико-химических процессов химического, плазмохимического травления микроэлектронных материалов, процессов сращивания и формирования многослойных, сложнопрофильных структур для микроэлектроники и микросистемной техники. Исследование и разработка базовых и технологических процессов изготовления структур КНИ и чувствительных элементов (ЧЭ) датчиков физических величин. Разработка технологии изготовления и сборки ЧЭ МЭМС. Подготовил 2 докторов и 15 кандидатов наук. Руководитель и главный конструктор более 60 НИОКР.

Участие в организациях

  • Член диссертационного совета Д212.134.01, Д212.134.03 (МИЭТ).
  • Член редакционной коллегии журналов «Российские нанотехнологии», «Микро- и наносистемная техника», «Оборонный комплекс – научно-техническому прогрессу России».

Автор более 400 научных работ (включая 30 изобретений), в т.ч.:

Учебные пособия

  1. Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Технологии и методы исследования структур КНИ. Монография. – М.: МИЭТ. 2003.
  2. Тимошенков С.П., Новиков С.Н. Вода на оксидных поверхностях и ее роль в процессах связывания кремниевых пластин. – М.: МИЭТ, 2004.
  3. Анчутин С.А., Плеханов В.Е., Тимошенков С.П. Введение в конечно-элементный анализ. Использование ANSYS в задачах математической физики. – М.: МИЭТ, 2007.
  4. Н.П.Захаров, С.П.Тимошенков, Ю.А.Крупнов. Оптико-электронные узлы электронно-вычислительных средств, измерительных приборов и устройств автоматики. – М.: БИНОМ, 2009.
  5. Проектирование систем на печатных платах на САПР Mentor Graphics. В 5-ти частях. Уч. пособие под редакцией Тимошенкова С.П. – М.: МИЭТ, 2008-2009.
  6. Тимошенков С.П., Калугин В.В., Анчутин С.А., Морозова Е.С. Микроэлектромеханические системы.– М.: МИЭТ, 2009.

Публикации

Автор более 400 научных работ (включая 30 изобретений), в т.ч.:

1. Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Горошко В.Н. Основы теории надёжности. Учебник для академического бакалавриата. М.: Юрайт, 2015.

2. Тимошенков С.П. Симонов Б.М., Изучение материалов, деталей, конструкция микросхем. Учебно-методическое пособие. Москва, изд. МИЭТ, 2015. 56 с.

3. Симонов Б.М., Тимошенков С.П., Бритков О.М., Анчутин С.А., Тимошенков А.С. Балансировка кремниевых датчиков угловой скорости в процессе изготовления // Известия вузов. Электроника, 2015, №1, 58-67.

4. Тимошенков С.П. Симонов Б.М., Бритков О.М., Конструкции и технологии изготовления компонентов и узлов электронных средств. Учебно-методическое пособие. М.: МИЭТ, 2016.-364 с.

5. Тимошенков С.П. Симонов Б.М., Бритков О.М., Компоненты электронной аппаратуры. Учебное пособие. М.: МИЭТ, 2017.- 280 с.

6. Симонов Б.М., Тимошенков С.П., Горошко В.Н. Надёжность технических систем и техногенный риск. Учебник и практикум для бакалавриата и магистратуры, учебник. Москва: Юрайт, 2017 - 502 с.

7. Тимошенков С.П. Симонов Б.М., Аунг Тхура, Исследование коэффициента жёсткости кремниевых балок микромеханических резонансных акселерометров // Известия вузов. Электроника, Москва, Том 22, №3,2017, 276-284.

8. Timoshenkov S.Kruchinin S., Investigation of technological operations for manufacturing 3D micro-assemblies with embedded elements // Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. Том 110222019 Номер статьи 110221W. International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, ICMNE 2018

9. Симонов Б.М., Бритков О.М., Тимошенков С.П. Конструкции и технологии изготовления компонентов и узлов электронных средств. Учебное пособие. М.: МИЭТ, 2018 – 285 с.

10. НОВИКОВ С.Н., ЕРМОЛАЕВА А.И., ТИМОШЕНКОВ С.П., ГОРЮНОВА Е.П. ВЛИЯНИЕ СПИНОВЫХ ИЗОМЕРОВ ВОДЫ НА ЭФФЕКТ ШОТТКИ // НАУКОЕМКИЕ ТЕХНОЛОГИИ. Том: 20. Номер: 4. Год: 2019. Страницы: 55-61.

11. Тимошенков С. П., Анчутин С. А., Плеханов В. Е. [и др.] Исследование кольцевого микрогироскопа / // Нано- и микросистемная техника. – 2019. – Т. 21. – № 10. – С. 634-640.

12. Тимошенков С.П., Симонов Б.М., Горошко В.Н. Основы теории надёжности. Учебник для академического бакалавриата. Переиздание. М.: Юрайт, 2019.- 445 с.

13. Ye Ko Ko Aung, Aung Thura; Boris M. Simonov; Sergey P. Timoshenkov; Zaw Min Oo.Study of Parameters and Characteristics of MEMS Capacitive Accelerometer with Vertical Overlap Comb Drive Construction // 2019 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), MIET, 2019, page.1941-1945.

14. Timoshenkov S., Kalugin V., Anchutin S., Kochurina E. ANSYS simulation of the microaccelerometer sensor // Proc. SPIE 11022, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2018, 110220S (15 March 2019)

15. Timoshenkov S., Fedotov S. D. et al. Investigation of the Initial Silicon-on-Sapphire Layer Formed by CVD Techniques // Semiconductors. – 2019. – Т. 53. – №. 15. – С. 2016-2023.

16. Formation of SiO2 Dendritic Structures During Annealing of Silicon on Insulator Wafers. Natalia Korobova, Vlad Zhigalov, Sergey Novikov,Sergey Timoshenkov. Physica Status Solidi (A) Applications and Materials 216(3).

17. Симонов Б.М., Бритков О.М., Тимошенков С.П. Изучение конструкции и технологии изготовления микромеханических акселерометров емкостного типа. Учебно-методическое пособие. М.: МИЭТ, 2020. 52 с.

18. Aung Thura, Simonov B.M., Timoshenkov S.P. Research of influence of random vibrations on MEMS samples // Russian Microelectronics, Vol. 49, №7, 2020.

19. Vertyanov, D.V., Belyakov, I.A., Timoshenkov, S.P., Borisova, A.V., Sidorenko, V.N. Effects of Gold-aluminum Intermetallic Compounds on Chip Wire Bonding Interconnections Reliability // Proceedings of the 2020 IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, EIConRus 2020. С. 2216 - 2220 January 2020.

20. Soloviev V.S., Timoshenkov S.P.,Timoshenkov A.S., Vinogradov A.I.,Kondratiev N.M.,Raschepkina N.A. Modeling the input of radiation into plane linear waveguides using diffraction gratings for a new technology for the manufacture of waveguide systems // COMPUTER OPTICS. 2020.

21. Ko Ko Aung Y.,Timoshenkov S.P.,Simonov B.M.,Riabyshenkov A.C. Analysis of the Suspension Elements for the Sensitive Element of a Micromechanical Accelerometer // International Seminar on Electron Devices Design and Production, SED 2021 - Proceedings27 April 2021 Номер статьи 94445382021 International Seminar on Electron Devices Design and Production, SED 2021.

22. Vertyanov D.V.,Timoshenkov S.P.,Sidorenko V.N.,Pogudkin A.V.,Belyakov I.A.Effects of Multilayer Structures Made of Epoxy Compounds with Different Filler Contents on Thermo-Mechanical Stresses in 3D packages // IEEE Conference of Russian Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering, ElConRus 2021. Moscow. 26 January 2021 - 28 January 2021 С. 2495 – 2500.