| Шифр совета | 146934 |
| Дата размещения объявления: | |
| Соискатель | Нелюбин Илья Вадимович |
| Название диссертации | Исследование и разработка комплекса неразрушающих методик контроля трехмерного профиля элементов наноразмерных ИС |
| Дата защиты | 17.02.2026 |
| Шифр | 2.2.2. |
| Специальность | Электронная компонентная база микро- и наноэлектроники, квантовых устройств |
| Отрасль науки | Технические науки |