СЕКЦИЯ 2
МИКРО- И НАНОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА
Руководители: Мальцев Петр Павлович, докт. техн. наук, проф.
Сауров Александр Николаевич, докт. техн. наук, проф.
Уч. секретарь: Тимошенков Сергей Петрович, докт. техн. наук, проф.
Секционные заседания
23 ноября, 15.10-18.00 ауд. 7206
Акулова Г.В., Атепалихин В.В., Горячев А.В., Кузнецов С.Н., Попков А.Ф., Шокин
А.Н.
Амеличев В.В., Гамарц И.А., Лопатин В.В., Попадинец Ф.Ф., Резнёв А.А.
Амеличев В.В., Галушков А.И., Поломошнов C.А., Сауров
А.Н. Конструктивно-технологический базис для перспективных термомикросистем. ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ, Москва
Афонин С.М., Афонин
П.С.
Басаев А.С., Егрин М.А., Павлов А.Ю., Соловьёва
Г.П.
Бойко А.Н., Фортинский
Ю.К.
Ванюшин И.В., Гергель В.А., Горшкова Н.М., Зимогляд В.А., Тишин
Ю.И. Разделение фототока на цветовые компоненты в кремниевых n+ -p-фотодиодных ячейках профилированием распределения бора в подложке. ИРЭ РАН, Москва, ООО "ЮНИК Ай Сиз", Москва
Галушков А.И., Погалов
А.И. Разработка и исследование конструкции микроэлектронного пьезорезистивного преобразователя ускорения. ГУ НПК "ТЦ" МИЭТ, Москва
Галушков А.И., Резнев А.А., Сауров
А.Н.
Годовицын
И.В.
Годовицын И.В., Иванова О.М., Крутоверцев С.А.
Дюжев Н.А., Гудкова С.А., Махиборода М.А., Федирко
В.А. Исследование эмиссионных свойств кремниевых кантилеверов. ФГУП "НИИФП им. Ф.В. Лукина", Москва
Дюжев Н.А., Козлитин А.И., Максимов С.К., Шокин А.Н.
Захаров А.А., Симонов Б.М., Жуков
А.А.
Зиновьев
Д.В.
Коноплев Б.Г., Лысенко
И.Е.
Локтев Д.В., Зиновьев Д.В., Тузовский К.А., Андреев
В.М.
Лурье В.И., Поломошнов C.А., Чаплыгин
Ю.А.
Погалов
А.И. Моделирование и прочностной анализ микроприборов. МИЭТ, Москва
Рощин В.М., Силибин М.В., Ловягина
М.С.
Сауров А.Н.
Тимошенков С.П., Калугин В.В., Рубчиц В.Г., Бритков О.М., Зотов С.А., Светлов-Прокопьев
Е.П.
Фомичёв
М.А.
Фомичёв М.А., Сажнев
С.В.
